(3) 氦质谱检测法。检测原理: 用氦气做为示漏的气体, 充入被检元件内,并将被检件置于真空容器中, 若发生泄漏, 氦元素便通过真空容器被质谱检漏仪检测到, 通过测量氦元素量计算泄漏量。氦质谱检测法精度较高, 一般用于密封要求苛刻的场合。

一种真空罩氦质谱检测法： 被检元件与氦气源相连, 并将被检元件放入真空罩中, 真空罩和辅助泵、检漏仪相连。先用辅助泵将真空罩抽成低真空, 再关小辅助泵阀门, 打开检漏仪阀门, 使检漏仪运行在工作状态; 打开氦气源阀门, 向被检元件内充入氦气, 如元件有泄漏, 检漏仪便给出指示。总漏率的确定可以用标准泄漏孔对比法。

(4) 各检测方法的性能对比。气泡渗漏法是最通用的一种检测手段, 但其精度和自动化程度都很低, 批量检测时效率低; 氦质谱法虽然精度高, 但成本也很高, 用于特殊场合;综合各方面性能对比, 对单个元件的泄露量检测, 首先推荐绝对压力法和差压法。