对单个气动元件或设备, 常用的气密性检测方法有气泡渗漏检测法、气压检测法、氦质谱分析检测法、流量检测法等。

(1) 气泡泄漏检测法　工作原理: 当被测元件泄漏位置内外两侧存在压差时,若低压侧有显示用的液体, 泄漏的气体便会在低压侧吹出气泡, 既可以依此判断泄漏位置, 也可从气泡的大小和出现频率判断泄漏量。气泡检漏法又可分为浸泡法、热槽法和抽真空法等。

将被测元件做好封堵工艺后接至气源, 打开截止阀向其内部充气加压, 使压力达到测试压力; 将被测元件浸入显示用液体中, 一段时间后, 观察气泡溢出的情况。另外, 可用集气容器放在泄漏位置收集气泡, 以一段时间内的泄漏气体体积判断泄漏量。气泡渗漏检测法原理简单, 易于操作,但自动化程度低, 测量不精确。

(2) 气压检测法　气压检测法的基本原理是先向被检元件内部充入压缩空气,再通过检测内部气体压力的变化来达到检测泄漏量的目的。气压检测法可以分为绝对压力法和差压法, 它们都是在泄漏检测工程中普遍采用的方法。

1) 绝对压力法。该方法常用于测量压力容器的总漏率, 其工作原理: 向被检元件内充气, 使压力达到一定值(一般和工作压力相等), 将被检容器隔离, 测量一定时间内元件内气压的下降值, 以此计算出泄漏量。

绝对压力法检测时, 若测试压力过高, 需使用大量程的压力表, 因而测量精度受限。同时, 因测量过程中温度变化, 会引起测量误差, 采用差压法可以避免这一问题。

2) 差压法。工作原理: 设置一个基准物, 用差压传感器连接基准元件和被检元件。测量时首先向被检元件和基准元件同时充入压缩空气达到相同的测试压力(工作压力), 使差压传感器两侧气压平衡。再将基准元件和被检元件与气源隔离,一段时间后, 由于被检元件的气体泄漏, 差压传感器两侧产生压力差, 根据传感器的信号得出泄漏量。